Bruker白光干涉儀是用于對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器，它是以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

　　Bruker白光干涉儀的維護：

　　1、使用時，各調(diào)整部位用力要適當，不要強旋、硬扳。

　　2、導軌面絲桿應防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態(tài)。

　　3、經(jīng)過精密調(diào)整的儀器部件上的螺絲，都涂有紅漆，不要擅自轉(zhuǎn)動。

　　4、傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應用T5精密儀表油潤滑。

　　5、儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi)，防止振動，儀器搬動 時，應托住底座，以防導軌變形。

　　6、光學零件不用時，應存放在清潔的干燥盆內(nèi)，以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精混合液輕拭。

　　Bruker白光干涉儀基本原理：

　　是用于對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器，它是以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

　　Bruker白光干涉儀的特點：

　　1、非接觸式測量：避免物件受損。

　　2、三維表面測量：表面高度測量范圍為 1nm ---200μm。

　　3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。

　　4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達0.1nm。

　　5、高速數(shù)字信號處理器：實現(xiàn)測量僅需幾秒鐘。

　　6、掃描儀：閉環(huán)控制系統(tǒng)。

　　7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。

　　8、測量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面，強大而快速的運算。